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應用：
◆蝕刻-半導體-砷化鎵等
◆蝕刻-平板顯示
◆蝕刻-微機電系統(tǒng)
◆化學氣相沉積
◆去光阻
◆化學機械研磨
技術參數(shù)：
等離子體處理中的端點檢測和診斷技術。將光譜轉化為信號并通過自帶軟件進行繪制和分析，從而了解機臺的工作狀況。
可以將SD1024系列光譜儀集成到系統(tǒng)中，或配置為使用時獨立于過程的控制器，這將有助于診斷應用程序。檢測器需要Verity的SpectraView軟件應用程序，通過一臺獨立的應用計算機或Verity的MTC1000多任務計算機進行操作。運行SpectraView軟件的應用計算機通過USB或以太網通信鏈路管理光譜儀。這個應用計算機接收來自系統(tǒng)主控計算機或處理模塊的控制命令(配方、啟動、停止)，并根據接口的定義返回端點及其他事件結果。
主要特點：
◆等離子診斷
◆缺陷檢測
◆200-800納米
◆制程監(jiān)控
◆符合RoHS要求
◆科研級CCD
◆體積小
◆軟件功能強大
◆可獨立操作
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