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適合用于科研領(lǐng)域
臺式激光直寫機
操作簡單，可支持灰度光刻
μPG101是一款經(jīng)濟實惠且易于操作的圖形發(fā)生器，適用于直寫和少批量的掩模板制作。該系統(tǒng)可用于MEMS、Bio MEMS、Integrated Optics、Micro Fluidics或任何其他需要高精度、高分辨率微結(jié)構(gòu)的制作。
μPG101的面積僅為60x75cm2，設(shè)計精巧，將所有電子組件集成在系統(tǒng)中，由系統(tǒng)控制主機運作?；赪indows®的控制接口，使用戶可以輕松進行數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)文件，經(jīng)過手動或自動對準之后，即可開始曝光。
μPG101主要提供簡單快速的方式來創(chuàng)建微結(jié)構(gòu)。系統(tǒng)可透讀寫模塊的更換，以滿足不用的分辨率和寫入速度的要求。它是市面上**達到亞微米結(jié)構(gòu)的桌上型光刻系統(tǒng)，即使是偏小網(wǎng)格，依然具有非常高精度的結(jié)構(gòu)。實時自動對焦系統(tǒng)可在曝光期間實時監(jiān)控和校正聚焦位置，從而確保整個曝光區(qū)域的高分辨率和可重復(fù)性。精密網(wǎng)格和實時自動對焦裝置是專業(yè)微圖型發(fā)生器的標準要求。
μPG101的應(yīng)用包括 Life Science 、MEMS 、 Semiconductor 、Sensors、Actuators、MOEMS、Material Research、Nano-Tubes、Graphene以及任何其他需要微結(jié)構(gòu)的應(yīng)用。
功能
寫入速度高達90毫米2/分鐘
基板6 x 6”
降至0.6μm結(jié)構(gòu)
標準或紫外光源
多種數(shù)據(jù)輸入格式
基本灰度曝光模式
對準攝像系統(tǒng)
多種可交換的寫模式
矢量和柵格曝光模式
暫無數(shù)據(jù)！
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