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石墨盤專用真空烤盤爐
石墨盤專用真空烤盤爐

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產(chǎn)地

安徽

樣本

暫無
合肥真萍電子科技有限公司

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第6年

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生產(chǎn)商

工商已核實

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核心參數(shù)
  • 非金屬電熱元件:

    其他
  • 金屬電熱元件:

    其他
  • 燒結(jié)氣氛:

    真空
  • 溫控精度:

    .
  • 最高溫度:

    1500℃
  • 額定溫度:

    1450℃
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石墨盤專用真空烤盤爐

產(chǎn)品介紹:真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體,爐內(nèi)抽真空,被處理工件放置在爐膛內(nèi),采用清洗氣體加熱反應方式進行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。

應用范圍:

主要用于有效清除MOCVD承受器 (SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達到有效清潔處理,提高制品質(zhì)量的目的。

設(shè)計特點:

1、后門設(shè)計熱風電機

2、降溫時風機開啟,同時兩端降溫封頭開啟, 爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向

3、通過氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進 行熱交換,達到快速降溫的目的

內(nèi)部系統(tǒng)結(jié)構(gòu)及原理:

技術(shù)參數(shù):

創(chuàng)新點

設(shè)計特點:1、后門設(shè)計熱風電機2、降溫時風機開啟,同時兩端降溫封頭開啟, 爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向3、通過氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進 行熱交換,達到快速降溫的目的

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務

10分

易用性

10分

性價比

10分
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